二手 SVG / PERKIN ELMER 660 #9396151 待售
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SVG/PERKIN ELMER 660是為納米光刻應用而設計的先進、精密的掩模對準器。此掩碼對齊器使用多種對齊方法,以最可重複的結果達到最高精度。集成的復雜軟件可自動完成大部分對齊過程,從而在靈活的計算機中獲得快速且可重復的結果。SVG 660可用於各種應用,包括微電子器件制造、圖形藝術成像、精密光刻。該設備具有高精度手動舞臺、高分辨率光學圖像、車載× 40光學變焦系統以及自動定位功能以輔助對準。PERKIN ELMER 660采用8軸墨盒設計,可顯著減少與基板安裝、掩模制造、晶圓和基板配準以及預對準相關的時間和成本。此外,660對齊器可以手動操作,也可以自動操作,從而減少基板和掩模的處理。SVG/PERKIN ELMER 660的高級光學單元允許它以不同的放大倍數精確拍攝圖像,從而實現詳細、準確的對準過程。該機配備了自動邊緣檢測功能,有助於減少工藝變化,提高效果。該工具還包括激光幹涉儀,有助於確保精確的級控制和高達0.1 µm的分辨率水平。總體而言,SVG 660 Mask Aligner是精密光刻的一項非常先進的資產,可幫助減少工藝變化並實現復雜、可重復的納米光刻工藝。該模型利用復雜的自動化和高分辨率成像,實現快速、準確的結果。該設備靈活的設計和可升級的功能使其成為各種生產和研究應用的絕佳選擇。
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