二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 240 #33408 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 240 Mask Aligner是為生產高品質半導體產品而設計的高速設備。它提供了先進的陣列、對齊精度和對齊穩定性,同時大大節省了成本。該系統旨在將電子束敏感面罩以極高的精度對準任何尺寸的基板。SVG 240單元基於集成的模塊化設計,使其易於使用,並且在維護成本方面具有成本效益。它允許對制造工藝進行快速、高效和精確的光刻。此模型包括高級功能,例如：組合光刻的兩個獨立工作階段、改進的位置精度和基於點的多次對齊。ASML 240的運動階段具有精密加工元件和閉環控制器,可確保舞臺的精確和平滑運動。步進電機提供高度精確的模式傳遞，可重復性為2µm，範圍為2-20µm。運動機還支持角度對準高速旋轉臺和高精度旋轉編碼器，以保證精度。口罩支架的設計提供了可重復、可靠的對準，穩態精度優於0.5µm。口罩支架接受完整的口罩選擇，包括4"至6"、8"至12"和最大24"大小。它還支持高度工程化的蒙版,需要多級陣列、定位和對齊。該工具還包括具有幾個預設參數的高級自動對齊特征,例如：模式細化、基於規則的特征識別、叠加計量和對齊優化。軟件套件還允許用戶從一系列光刻工具中進行選擇,這些工具包括：圖像增強、光學接近校正（OPC）和標線放置。總體而言,PERKIN ELMER 240 Mask Aligner是一種高效且經濟實惠的資產,可用於制造半導體。其模塊化設計和集成特性使其成為先進光刻應用的理想選擇。