二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 300 #40530 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 300是一種掩模對齊器,它以微結構制造過程所需的對齊精度提供對基板圖樣的精確控制。本機具有352毫米（13.86英寸）的大控制場，其舞臺可在x、y和theta方向精確移動。利用其集成的對齊標記傳感器，用戶可以輕松檢測基板中的標記，從而在多個基板上實現精確對齊和對齊重復。SVG 300還配備了用於微加工過程的數字投影設備。這個系統的分辨率高達0.25 μ m，使用戶能夠精確控制用於亞微米尺度應用的基板的圖樣。數字投影單元由數字光學和超低失真成像組件組成，提供卓越的圖像質量、高分辨率成像、數字均衡和軟件控制的鏡頭校正功能。遮罩對準器還具有數字照明，提供精確的照明控制，可以針對不同的基板類型進行調整。此外,掩模對準器還配備了先進的投影管,用戶可以以高精度處理小的（低至0.1 μ m）圖樣。ASML 300還有一個內置的基板盒式機器，允許用戶快速、方便地將基板與對齊器之間進行傳輸。利用內置的光刻站，用戶可以以優異的均勻性和高分辨率快速處理基板。為確保PERKIN ELMER 300的安全運行，該工具配備了先進的安全措施，如惰性氣體外殼、壓力傳感器和自動安全罩，以保護光學器件免受外部損壞，並檢測可能對資產部件造成損害的氣體。綜上所述，300是一種功能強大的掩模對齊器，通過其大的控制場和數字投影模型提供基板的受控模式。它還具有數字照明、先進的投影管、內置基底盒式設備、光刻站和安全措施等特點，使其能夠以更高的精度和均勻性安全地處理微結構制造過程。