二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #5943 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT是一種用於光學光刻的最先進的掩模對準器。它能夠制造密密麻麻、錯綜復雜的微電子器件，厚度不超過三微米，精度和對準度都很高。該機器提供了最高的精確度,為要求苛刻的應用程序提供了卓越的效果。SVG 340HT遮罩對準器由兩個主要組件組成：一個用於定位遮罩和基板的舞臺和一個投影光學系統。舞臺提供五個運動方向和0.5微米的X-Y分辨率。它配有電動驅動器和運動編碼器，用於檢測運動誤差，而真空卡盤則將電路板和蒙版固定到位。投影光學系統具有增強的紫外線投影透鏡，其中包含精密橢圓衍射光柵。這確保了卓越的成像和卓越的對準精度。掩模和基板的對齊是通過ASML 340HT的即時對齊技術實現的。機器將定位基板上的對齊標記,並計算掩碼的相對位置,然後將其對齊。這樣可以在更少的步驟中對齊復雜的掩碼,並提高對齊的準確性。340HT是高度通用的，因為它是兼容各種底物，如石英和矽。它支持廣泛的照明源，範圍從標準紫外線到極端紫外線（EUV）。它還能夠曝光和成像各種圖樣，包括0.25、0.45和0.65微米的特征尺寸。該機器配備了自動性能和功能驗證工具,可提供有關對準精度和曝光速度的實時反饋。它還具有高分辨率攝像頭,可顯示處理後的模式,從而可以即時評估任何缺陷。簡而言之，PERKIN ELMER 340HT是為精密微光刻應用而設計的強大而精確的掩模對準器。它用途廣泛,能夠自動對齊各種掩碼,是需要高精度、分辨率和對齊度的應用程序的理想解決方案。