二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 500 series #84336 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 500系列是用於半導體封裝和微電子器件制造中光刻應用的高精度掩模對準器。對準器能夠以極高的精度控制光刻膠和其他材料的曝光，以方便將所需的特征轉移到制備的基板上。這些光刻機配備了各種專門設計的功能，以確保每次曝光的準確性。自動晶片加載/卸載設備可確保晶片對齊和快速安全地加載/卸載。為確保準確性，每個晶片放置都經過驗證，並維護晶片移動的數字庫，以防止錯誤發生。然後，晶片對準系統掃描並驗證每個晶片的位置以及隨後的曝光光源，以保證所需的曝光模式。此外,計算機控制的生命周期監視單元監視機器的性能,並告知用戶為保持最佳效率所需的任何更改。為了從SVG 500系列對準器中獲得最佳的可能結果，必須控制各種參數，例如曝光光源相對於晶圓的位置、曝光時間以及用於最大化分辨率的透鏡。曝光波長也是可調的，有多種可用波長包括248nm、193nm和365nm。另外，光學濾光片可以用來調節光源發出的光的強度。可以調整曝光機以考慮到表面反射率對曝光圖樣的影響。為此,可使用連接到投影透鏡工具的可選光纖來照亮材料表面上的反射,幫助防止不正確的對準並提高曝光精度。ASML 500系列對齊器具有易於使用和強大的用戶界面,允許每次使用時快速設置和編程機器。用戶還可以快速自定義計算機設置,以最好地滿足其應用程序需求。為了優化掩模對準器的性能,資產提供了幾種工藝診斷方法,如端點和執行器位置控制,以及晶圓熱特性分析。此外,模型還提供了流程可追蹤性,允許檢測曝光過程中可能發生的任何錯誤。總之,500系列掩模對齊器提供了精確度、速度和用戶友好的功能,可在每次使用時提供準確一致的曝光。