二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 554 HT #9358414 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 554 HT是為光學微組裝設計的最先進的掩模對準器。對準設備采用激光幹涉測量和數字成像技術相結合，確保光掩模在基板上的精確放置。光掩模由一對線性電動機定位，控制角度方向，高精度XY級具有0.01微米的重復性。線性電動機也可以同步，以便在雙面光掩模曝光期間進行精確的叠加對準。該系統還能夠覆蓋對齊補償，以調整任何尺寸差異的光掩模和基板。SVG 554 HT的曝光光學器件由一對激光照明器和一個可調Koehler照明單元組成。該機采用低失真光學工具，數值孔徑為0.40，磁場尺寸可達4.8毫米。激光照明器設計用於最高36 mW/cm激光功率的峰值功率水平，Koehler鏡頭可在一定的工作距離範圍內調節。曝光光學器件還包括一個可選的用於成像大幅面晶片的標線照明器。ASML 554 HT能夠處理直徑最大為4英寸的基板，可安裝真空卡盤或手動夾具。資產包括若幹安全功能，如物理互鎖和安全保護，以確保操作員的安全。這種最先進的掩模對齊器的特點包括高精度、高速定位和高吞吐量過程控制。該模型以其精確的光學和高精度的運動控制系統，在三維晶片裝配、翻轉芯片粘合器對準、液晶屏曝光和曝光計量等應用中非常適合光掩碼對準和叠加。