二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT #9194296 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HT是一種高通量掃描電子束曝光步進器，常用於光刻和掩模對準器操作。這種自動化設備采用了一種步驟和重復算法，在同一基板上重復曝光時，可以精確對齊掩模上的圖案。SVG 641 HT具有由x-y線性級、x-軸旋轉級和光束偏轉器組成的高分辨率模式發生器。X-y線性級由高速伺服電動機驅動，除了精確的模式對準外，還便於高吞吐量。X軸旋轉級用於修改x-y平面中的陣列方向，允許容納各種對齊的目標。束偏轉器設計為以電子方式調整放置在基板上的電子束焦點，允許更精確的圖樣定位和更高解析度的影像。ASML 641 HT配備了精確的激光幹涉儀系統，能夠在基板上實現精確的圖樣對準。該單元由三束光束組成，使掩模對準器能夠測量激光束點與掃描電子束曝光面之間的相對距離，以確定圖樣在基板上的精確位置。PERKIN ELMER 641 HT還具有高精度的掃描光學器件，能夠對基板上的圖樣進行精確和可重復的對準。這臺機器使用兩臺檢流計掃描儀，配置用於在兩個垂直軸上掃描電子束。這些掃描儀在整個曲面上以同步運動運行，從而可以精確控制工具收集的數據。此外，641 HT還包括一個板載控制器，可以自動操作資產。該控制器允許電子控制各種模型參數，如光束偏轉位置、曝光時間、電壓和電流等。控制器還允許對設備進行模式編程和實時控制，可用於對實驗室不斷變化的條件做出快速反應。總之，SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HT是一種用於光刻和掩模對準操作的高通量掃描電子束曝光步進器。這種自動化系統采用了一種步驟和重復算法，允許在同一基板上重復曝光時對掩模上的圖案進行精確對齊。它集成了精密激光幹涉儀單元、高精度掃描光學器件以及能夠實現機器自動化操作的車載控制器等多種功能。SVG 641 HT是光刻和掩模校準工作的絕佳選擇。