二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #293645522 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT是一種蒙版對準器，或光學光刻工具，用於測量和對準微米和亞微米尺度特征。它是可靠和流行的SVG 641 HT的最新版本，針對處理200 mm以下的晶圓尺寸進行了優化。SVG 642 HT利用準分子激光器、LasertecTM可編程步進器和具有集成低溫液晶光掩模的獨特對準設備。激光發射高分辨率、均勻的激光束，聚焦在掩模的對準區域。可編程步進器將晶片精確定位在一系列x和y方向上，從而使掩模上的圖樣相對於晶片更好地對齊。除了其精密的對準系統外，ASML 642 HT還具有多項其他最先進的技術，例如其低溫液晶光掩模，以提高精度和分辨率。這允許使用比常規光學光掩模更大的特征大小，從而能夠形成復雜的結構，如自對齊接觸孔。642 HT還具有獨特的可變功率光學單元,用戶可以在光刻過程中微調激光的功率。這臺機器提供了更大的靈活性，使其能夠達到所需的光學特性。此外,PERKIN ELMER 642 HT還采用多用途模塊化設計,使其成為各種光刻應用的通用工具。SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT從用於掩蔽的基本光刻到諸如預鍵和混合構造等更復雜的過程，為每個用戶提供了一個全面的解決方案。SVG 642 HT配備了高達6000 wph的快速處理速度和高達200 mm直徑的大面積能力。這使其成為滿足大批量生產需求的理想選擇。它強大的設計、可靠的性能和經濟性使其成為需要在各種生產應用程序中獲得精確結果的用戶的理想選擇。
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