二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #9358411 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT Mask Aligner是為微電子電路和元件的光刻而設計的高通量Mask Aligner。這種最先進的設備具有全自動、精確對準的設備、6英寸x 4英寸的基板尺寸和0.3米μ微步進自動對焦運動能力。這使得它非常適合開發和制造具有先進機械、電氣、熱和光學性能的下一代微電子器件。SVG 642 HT Mask Aligner配備高精度XY表，在x軸和y軸上提供廣泛的微步運動，以提高對準精度和重復性。ASML 642 HT采用步進電機驅動系統,可實現高達600 m/min的微動遍歷速度,用於基板快速掃描,而兩級自動對焦、精細對準裝置可確保最大可能的對準精度降至0.3 μ m。結合其8位灰度驅動器和12.7 μ m螺距鋁掩模，本機可加工Si、SiO2、SiO2/Si、Ge層等多種基板。PERKIN ELMER 642 HT Mask Aligner具有強大的多區真空卡盤工具,可確保適當夾緊基板,防止在基板表面積聚熱量和化學殘留物。該設備采用先進的氣流控制器，可實現多種抗壓加工條件，是先進設備制造和設計的理想選擇。642 HT Mask Aligner配備先進型號控制器，操作可靠穩定。它的模塊化設計允許方便的用戶編程，這使得它適合廣泛的用戶定義的進程。其直觀的用戶界面設計方便、安全，改進了對遠程數據收集和遠程編程的支持。總體而言,SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT Mask Aligner是用於精確對準和基板掃描及處理的先進工具,其設計旨在滿足微電子開發商和制造商的需求。SVG 642 HT具有高通量電機驅動、精密對準設備、精細對準能力和氣流控制功能,是任何微電子開發或制造項目的理想選擇。