二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9165928 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT是一種掩模對齊器,用於制造集成電路並將其合並到與其接觸的組件中。它是制造專用計算機芯片或其他半導體產品的重要工具，用於將光刻圖樣從掩模轉移到基板。SVG 651HT結合了幾個圖像采集、晶片掃描和過程控制系統，以便在晶片上準確放置有圖樣的抗蝕劑。它提供了一個高級的高端掩碼對齊器,可根據用戶的需要提供多種配置。ASML 651 HT利用了最新的成像和陣列技術。它具有光學和電子束圖樣的能力，可用於高通量接觸和近距離打印。ASML 651HT提供了兩個精確的晶片級,可重復性和準確性,可用於打印在晶片上具有非常精確對齊的層。其精確度也有助於復雜3維產品的制造。SVG 651 HT具有真空載卸站、機械化的opto機械級和空氣承載級、自適應聚焦設備、掃描相機、電子束光刻工具、傳送帶以及多種支撐系統。所有組件都封閉在專門設計的環境中。PERKIN ELMER 651HT配備了自動控制系統和嚴格的軟件算法,用於模式創建、對齊、成像和打印。軟件允許設計者對掩碼布局和位置進行編程，以充分利用機器的功能。它還提供了CAD模式導入、提高精度的分子束泵送以及數控模式旋轉等多種功能。651 HT設計用於極其可靠的生產和工藝控制以及半導體生產的嚴謹性。它還為納米技術的應用提供了非常高分辨率的成像能力。該系統具有預防性維護功能,可延長設備壽命並減少計劃外維護需求。該機器還為完全的用戶合規性而設計，並提供了整個掩蔽過程的完整可追蹤性。SVFPERKIN ELMER 651 HT是一款高性能的掩模對準器,可提供光刻設備中最高的精度。憑借其強大的設計和自動化的控制系統，651HT可用於生產產量極好的高度復雜的組件。
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