二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 651HT #9259119 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 651HT是一種通常用於生產半導體器件的微光刻陣列工具。它是一種先進的高端工具,具有運動控制精度和速度,可實現更高分辨率的特征和更緊密的特征放置。SVG 651HT能夠提供廣泛的曝光特性,使設計人員能夠使用較短的曝光波長來實現較小的特征尺寸和更高的性能。ASML 651 HT具有晶圓放置和移動的超精確級平臺，最大級行程為4500mm。此外,PERKIN ELMER 651 HT具有內置的壓電驅動焦點控制設備（FCS）,可優化曝光均勻性。FCS確保對齊標記或模式的所有部分在整個曝光過程中保持焦點。651 HT采用2,4MHz激光模式生成（LPG）技術,具有先進的掃描支持,可實現高速和可重復模式。該系統還具有一個變焦光學單元（ZOS）,它提供了非常高的精度和對曝光過程的控制。除了上述功能外，ASML 651HT還提供了一些其他功能，旨在支持高級半導體工藝。其中包括一個完整的對齊子系統、一個用於曝光後開發的幹膜剝離器（DFS）子系統、一個用於放置和旋轉優化的高精度掩模邊緣調整機（MEAS）以及一個自動對焦優化工具（AOS）。651HT設計便於維護和可靠性。它具有板載過程診斷功能、確保準確結果的集成校準工具,以及用於優化對齊和打印精度的溫度和濕度控制資產。此外,它的開放式體系結構可以方便地更新新的掩碼類型。綜上所述,SVG 651 HT是一種多用途工具,可提供精密晶圓處理的高級功能。它旨在在廣泛的應用中提供可靠、可重復的結果。SVG/PERKIN ELMER/ASML 651 HT以其超精密的舞臺平臺、內置的Focus Control Model、2,4MHz Laser Pattern Generation技術以及其他支持先進半導體工藝的功能，是高端半導體生產的理想選擇。