二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293765674 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293765674
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6"
Loadlock cassette type: M500/600
No SMIF
Cassette stage: 150 mm
Wafer mapping
Optical sensor
Blower
OS-2000 Controller
Air cooler: 39,000 BTU
Wafer fluoroware cassettes: 150 mm
Electronic motorized carousel arm
Pellicle protection mask cassette system
Cassette and carrier round mask: 7.25"
Life mask X, Wafer X and Pre-aligner anchor flexures
Optical:
High-Throughput coated optics (HT)
UV4 Filter and narrow band secondary
Integrated uniformity tester
Automated Uniformity Testing (AUDIT)
Focus / Viewing / Mag:
Air guage focus system
Extented life gauge head flexure
Automatic Variable Magnification (AVM)
Brightfield and darkfield viewing
Gas scan
Power supply: 220 VAC, 3 Phase.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT是為IC光刻應用而設計的高精度掩模對齊器。此高級掩碼對齊器具有先進的對齊體系結構,精度為1.2 μ m。SVG 661 HT還具有超高分辨率光學設備,最小光斑尺寸為12 μ m。此外，ASML 661 HT具有廣泛的成像功能，包括4倍裝箱、散焦控制和多重照明系統。這些成像功能使IC掩模在半導體加工過程中能夠快速精確對準。661 HT采用四點高精度集成設計,可確保精確且可重復的對齊方式。此設計還包括自動對焦和多級掃描和縫線功能,可幫助實現掩碼對齊過程的自動化。PERKIN ELMER 661 HT還提供強大的圖像處理功能,如二值化、對比度增強和邊緣銳化。這些功能可以進一步優化圖像質量和對準精度。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT還配備了高速低漂移SSMB（Scanning Stage Movement Block）機械級，用於精確基板對準。該級由無刷電動機驅動，最大步進分辨率為0.1 μ m。SVG 661 HT還具有具有可變激光輸出功率和可調激光參數的高功率照明單元。這臺機器允許用戶減少曝光時間，增加基板曝光的均勻性。為了進一步增強ASML 661 HT的多功能性,該工具配備了可選的icontrol軟件包。此程序允許控制661 HT的功能及其許多對齊功能。Icontrol軟件還提供了用於對齊和成像的圖形工具。PERKIN ELMER 661 HT的卓越特性，加上其出色的精度和能力，使其成為先進的IC光刻應用的理想工具。
還沒有評論