二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293811482 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT蒙版對齊器是為生產先進的光刻蒙版而設計的功能齊全的工具。此掩碼對齊器將功能強大的SVG軟件套件與最先進的組件結合在一起,在廣泛的應用程序中提供卓越的效果。該設備配備了2048 x 2048分辨率監視器和先進的自動化系統,可可靠地調整陣列步驟。此外,還包括一個強大的光學單元,它允許以無與倫比的精度將圖樣傳輸到光圈膜。為了確保獲得最佳效果,SVG 661 HT掩模對準器采用高分辨率光機對準機,能夠準確定位每次面對面曝光的光掩模。這樣可以確保最小的離軸運動和高平坦度,這對於成功的模式轉移最終是必不可少的。該工具還包括一個高分辨率的壓力測量資產，它可以檢測任何施加的壓力具有極高的精度。在定位精度方面，ASML 661 HT蒙版對齊器能夠實現極其嚴密的公差。它提供低至0.0005mm/100 μ m的X-Y重復性,以及0.7nm/100 μ m的Z軸重復性。除此之外,該模型還提供了多種邊緣定位和聚焦功能,從而可以與現有的流程步驟和常規任務進行高效集成。此外,XY移位和孔對齊等特征允許增加模式傳輸的復雜性。661 HT掩模對齊器以其可靠的效果而聞名，但這只能得益於其先進的組件。該設備采用尖端芯片技術，以確保最大程度的工藝再現性。此外，這種面罩對準器使用了厚厚的聚氨酯橡膠層，從而顯著減少振動並提高圖像清晰度。總之，PERKIN ELMER 661 HT蒙版對準器是光刻蒙版生產的最終選擇。其先進的光學機械對準、高分辨率壓力測量和嚴格的公差能力確保了在各種任務中的最佳結果。而且，該系統采用尖端芯片技術和堅固的組件，提供最大的可靠性。