二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #9165927 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT是一種高級級的掩模對齊器，用於半導體的制造。它是用於光刻工藝的重要工具，能夠在包括矽、玻璃和石英在內的各種基板上產生高質量、準確的圖像。SVG 661 HT是一款行業標準的工具,由於其高速、精確的運動設備而提供卓越的性能和精度。它配備了模塊化設計，允許光學和真空晶片級的互換使用，以及可選的激光幹涉儀計量和光束對準器。這種掩模對準器還可以根據需要通過使用各種透鏡、擴散器和其他組件來增強。對齊器還具有一個強大的控制系統，允許快速曝光時間調整和高分辨率的圖像采集。它還配備了提供精確叠加精度的高速雙梁十字線對準單元。機器還配有內置攝像頭，可用於實時查看樣品。除了成像基板外，ASML 661 HT也能夠將它們處理成更深層次的應用，例如製造集成電路（ICs）、微機電系統（MEMS）和其他微米級的元件。該工具還具有高速自動晶片處理資產,使晶片能夠以最小的停機時間往返於加工室。此外，這種面罩對準裝置采用堅固耐用的底盤，既防塵又防水。它具有主動振動控制模型,可消除由於設備移動而對成像過程造成的任何潛在幹擾。PERKIN ELMER 661 HT還配有內置的粒子過濾器，可以改善整體空氣質量，延長機器使用壽命。總體而言,661 HT是一款先進的掩碼對齊器,可提供出色的性能、可靠性和靈活性組合。其高速、精密的運動設備，加上強大的控制系統和自動晶圓處理單元，是制造半導體的重要工具。
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