二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9003993 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661是一種掩模對齊器，是一種用於進行光刻的機器。它被設計成一種準確、高效、經濟高效的設備，可用於各種平版印刷任務。SVG 661掩模對準器具有線性級設計，使設備小巧小巧，同時提供精度和準確性。它可以達到5,000 nm的大小,3維（3D）對齊誤差為+/-1.0 nm, 2維（2D）對齊誤差為+/-0.5 nm。它還能夠在不使用空氣軸承的情況下調整舞臺的位置，這意味著即使在調整舞臺時也能保持很高的精度。ASML 661擁有先進的光源設備，使用940 nm二極管激光器，可用於曝光尺寸達100 mm的晶片。它還有一個可以根據客戶需求定制的控制系統。例如，可以用專有算法對單元進行編程，以便在不犧牲精度的情況下實現效率最大化。該設備還有一個全自動對齊機，可以很容易地檢測和成像晶圓上的掩碼。該對齊器還采用可選的晶片對齊方式，允許用戶進行微米和納米級調整，而無需手動旋轉舞臺。最後，661面罩對準器還配備了汙染監控器，如果工具被灰塵或碎屑汙染，它將提醒用戶。此功能有助於確保設備保持清潔並提供高質量的結果。PERKIN ELMER 661掩模對準器是一種先進的設備,可提高速度、精度和效率。它可以用於各種平版印刷任務，其先進的特性允許更高精度的結果。