二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9107715 待售

SVG / PERKIN ELMER / ASML 661
ID: 9107715
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6".
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661蒙版對齊器是一種用於精確對齊高精度薄膜層圖樣的工具。主要用於半導體工業中的光刻工藝。SVG 661具有高分辨率步進電機和內置的刀具定位系統,允許精確的模式對準到亞微米級。ASML 661具有堅固的框架和穩定的底座,使其在圖樣與膠片的精確對齊方面具有很高的準確性。661具有達到任意模式頻率水平的能力,非常適合進行高級納米加工。具有高重復性,PERKIN ELMER 661也適合在單片上產生多種圖案。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661使用光學取景器對齊圖案。它有一個內置的翻譯階段,允許精確和可重復的移動跨模式進行對齊。蒙版對齊器還具有用於深度調整的Z軸。可以將舞臺精確配置為在必要時達到極低的配置級別。此外,SVG 661具有邊緣密封系統,可確保薄膜與基板之間的密封緊密,並提供牢固的粘合劑粘結。ASML 661采用模塊化低維護設計,在最小的停機時間內易於使用。它還考慮到安全性,具有接地故障中斷器(GFI)和緊急關閉開關等功能。此外,它還有一個高靈敏度的光學系統,非常適合操作過程中的檢查。總體而言,SVG Mask Aligner 661是一種通用的對齊工具,非常適合半導體行業中精確、可重復的對齊過程。它的特點使得它非常適合創建精確的納米加工模式,它的模塊化設計使得它可靠和易於使用。此外,它的安全功能確保了在使用設備時的保護。因此,ASML Mask Aligner PERKIN ELMER 661是各種應用程序的絕佳工具。
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