二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9210321 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661是一種先進的晶圓對準工具，設計用於半導體器件制造過程中的高精度掩模配準和覆蓋。該設備將SVG電子束光刻精度與ASML投影光學成像精度相結合。SVG 661包括單通和雙通選項，允許用戶選擇所需的對齊精度。步進式晶片對齊系統使用高級圖形用戶界面（GUI）快速確定預定義模式在基板上的精確對齊。ASML 661還包括一個語音識別單元，在預定義的預設位置自動調整參數和對齊基板。該機具有高分辨率光學組件、成像工具和精密級。光學器件用於可視化晶片的表面,並確保所有對齊點都精確對齊並在允許的範圍內。成像資產由中能電子束源和低能電子束源組成。低能光束用於表征，用於檢測電子光束光刻工藝之前基板上的缺陷和缺陷。661的精密級由X、Y和Z軸組成，允許在電子束光刻和圖樣配準過程中進行精確運動。該級還包括伺服控制探針和精細運動軸。精細的運動允許在必要時對位置進行快速和準確的校正。PERKIN ELMER 661吞吐量高、精度高，覆蓋可重復性低至3.5納米。該模型還包括一個自動檢查工具，以確保登記和叠加的可靠性，以及所有石版印刷形狀和特征的自動登記。SVG/PERKIN ELMER/ASML 661與廣泛的光掩模和基板材料兼容，適用於多種應用，包括微電子、顯示器和MEMS組件。這種設備非常適合半導體制造商和設備集成商，他們正在尋找晶圓上復雜模式的高速、精確對齊方式。