二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 664 HT #9165930 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 664 HT Mask Aligner是一種用於微加工過程的最先進的對齊工具。它是一種混合光刻設備，結合了光刻（掩模對準）和電子束光刻（圖樣），用於材料的亞微米圖樣。SVG 664 HT Mask Aligner是一個半自動桌面系統，使用一個X-Y平移級和兩個旋轉級，將有圖案的Mask與基板精細對齊。設備上的倒置顯微鏡允許用戶在視覺上確認對準和圖案位置。在使用ASML 664 HT掩模對齊器時,典型的對準精度為± 90°,角度精度為3°。該機包括一個獨立的電子束陣列截面，三柱排列。電子束寫入柱由一個控制模塊、一個微通道板探測器、一個投影透鏡和一個X-Y對準級組成。單獨的工作距離控制模塊允許調整樣品和掩模的垂直位置。電子束柱可用於電子束光刻、抗書寫或圖案修復等應用。該工具配有一個光源和一個狹縫光源單元，用於改變狹縫大小和斑點大小。適用於采用傳輸和反射模式的鍍鉻口罩等常用口罩。集成的設計允許快速、高效地對準掩模,以實現精確的陣列。使用數字圖像投影資產,可以將有圖案的掩碼加載到664 HT上。用戶可以將掩碼的圖像加載到模型上,然後將掩碼自動對齊。正確對齊後,可以用防反射塗層密封口罩。PERKIN ELMER 664 HT還提供高級自動化功能,如自動掩碼選擇、焦點掃描和對齊優化。該設備可實現快速和精確的陣列設計,並具有很高的分辨率。SVG/PERKIN ELMER/ASML 664 HT是一種用途廣泛、可靠的掩蔽對準光刻系統，為許多先進的光刻應用提供精密平臺。SVG 664 HT具有廣泛的特點，操作方便，是高科技實驗室和制造設施的理想選擇。