二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 700 Series #9249212 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 700系列掩模對齊器是一種用於半導體制造的先進技術。這臺設備利用先進的技術，將光掩模與基板對齊，從而創造出高密度的集成電路。遮罩對準器有兩個主要組成部分，投影光學器件和基板級。投影光學器件負責將圖像從掩模投影到基板,基板級是放置基板以進行該過程的位置。投影光學器件具有超短脈沖激光、四單元光學器件、圖像輸出縫合系統等一系列特點。光學器件具有卓越的成像能力,分辨率高達0.2微米,成像速度更快。基板級還具有5軸級單元、XY和Z激光幹涉測量、自動對焦機等一系列特點。這些特征為精細的特征對齊提供了準確性和靈活性。舞臺還進行了機動化，並配備了全方位的運動，以實現基板的精確定位和對準。面罩對準器在設計時考慮了安全性，並配備了激光光簾、雙光纖安全繼電器、E-STOP等先進的安全特性。這樣可確保工具操作安全,並防止在操作過程中發生任何事故。SVG 700系列掩模對齊器是一種功能強大的技術,可以在增加周期時間的情況下實現精細間距的設備制造。其先進的特性和精度提供了生產高質量、高密度電路的能力。該資產非常適合用於半導體器件制造應用，如微處理器、內存和邏輯器件生產。