二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 761 HT #9265344 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 761 HT是用於光刻的用於制造集成電路的掩模對齊器。該設備采用短波深紫外線（DUV）激光器和六軸龍門，設計用於處理和對準各種基板和柔性面罩。SVG 761 HT在很大的尺寸和視野範圍內提供了很高的對準精度和精度,並提供了一系列自動化功能,以方便快速可靠的實驗。ASML 761HT允許制造各種尺寸的最小特征尺寸為0.3微米的集成電路。它有一個6軸龍門，其中「X」，「Y」和3角軸被用來精確對齊遮罩和基板。ASML 761 HT還有一個19微米的光斑激光器，用於對齊掩模和基板。該系統還具有TTL可移動鏡頭,可根據所需的特征大小進行更換。4位對齊表允許快速、準確地設置基板和掩模。該單元的閉環伺服電子設備為龍門提供精確的控制和反饋，使其能夠高精度和重復性地移動。此外,SVG/PERKIN ELMER/ASML 761HT可用於真空或空氣中,在設置和操作過程中具有靈活性。SVG 761HT機使用LAM（激光對準標記）方法，用於確定掩模配準和基板地形。LAM是由一個逐行的面罩-書面曝光，然後二次曝光由激光曝光標誌基板組成。激光暴露了遮罩沒有阻擋的區域，從而提供了比傳統方法更精確的對準。761HT還包括用於宏對齊任務的高分辨率視覺工具。該資產采用遠心光學模型和高靈敏度CCD相機探測器，以確保精度和精確度。該設備可檢測和對準多達128個參考點，允許快速可靠的實驗。此外,PERKIN ELMER 761HT還包括一些安全功能。該系統設有輕型窗簾，以確保操作員的安全，並設有自動清潔裝置，以減少加工部件上的灰塵和碎屑。此外,該計算機還具有自動運行結束診斷功能,可跟蹤性能並提醒操作員註意任何問題。761 HT是光刻應用的理想工具,需要高精度和高精度。它提供了廣泛的特性和功能，以方便快速和可靠的實驗。