二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 861 HT #9358413 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 861 HT Features是SVG製造的全自動蒙版對齊器。該設備設計用於先進的半導體加工，如光刻、電鍍、成像、圖樣傳遞等。SVG 861 HT提供了多種特性，包括支持尺寸不超過8英寸的基板、高分辨率激光對準器和先進的光學芯片粘合系統。ASML 861 HT具有堅固、運動穩定的雙級目標平移表,由精密線性電動機驅動。該單元同時包含壓電級和垂直運動,允許沿著三個軸運動,這有助於在整個對齊例程中保持最佳對齊。與傳統步進系統相比，結果大大提高了精度和可重復性。機器還有一個內置的雙臂機器人，可以自動化加載/卸載過程，從而實現高吞吐量的工作流。機器人還提供了861 HT與廣泛材料之間的橋梁，如光掩模、基板、旋轉塗層等工藝設備。結果是一個掩碼對齊器,它可以高效地運行各種進程步驟。PERKIN ELMER 861 HT還配備了先進的激光對準工具。該資產利用藍光激光和兩個精密探測器快速定位基板邊緣，以實現精確對準。該模型可以容納廣泛的材料而無需進行任何修改，包括各種類型的光掩模。SVG/PERKIN ELMER/ASML 861 HT還提供先進的光學芯片粘結,能夠同時粘合多達五個芯片。得到的產品強度高，可重復，並且在芯片之間有極小的錯位。結合過程也很快，得益於高速檢流計的使用。SVG 861 HT還配備了高靈敏度的激光輪廓監視器，用於驗證基板的質量。顯示器收集的數據用於確保光學芯片鍵合過程和整體一致性的正確聚焦和曝光設置。所有這些都有助於確保產品產量的最高水平和汙染的最低水平。總體而言,ASML 861 HT是一款先進的全自動掩碼對齊器,它具有多種功能,可實現高效、高質量的半導體處理。雙臂機器人、基於激光的對準器和光學芯片結合設備有助於使系統多用途、高效。此外，激光剖面監測儀還增加了一層額外的防汙層，並因不對準而產生損失。