二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML M641HT #9220746 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT是半導體行業常用的高端掩模對齊器。它是一種高度自動化的設備,能夠處理從全尺寸7英寸到8英寸到小到8微米的各種口罩尺寸。SVG M641HT面罩對齊器利用4向面包板對齊系統精確定位對齊器腔室內的基板、蓋板和網紋。通過這個單元，可以很容易地實現基板到標線的對準，這使得機器能夠以高精度和準確度工作。此外,該工具還支持多個掩碼對齊器,可靈活滿足您的生產和測試需求。ASML M641HT具有廣泛的控制系統,旨在為您提供對過程的精確控制。這包括控制光束路徑、焦點和曝光,以及自動舞臺對準。先進的控制資產還有助於確保過程的質量，從而更容易實現高產運行。該模型使用基於金字塔形檢流計的激光設備提供均勻照明。這種激光產生的功率約為1mW，光束點可以在20到160微米之間變化，以適應不同的標線尺寸。光束路徑的精度可實時調節，確保最大對準精度。該系統可與多種材料配合使用，如Si、聚酰亞胺、GaN、GaAs等。它支持多種成像過程，包括接觸標線到晶片、開放標線到晶片、局部化倒雙曝光（LIDE）、無閃曝光（FFE）和多層成像。除了成像能力外，PERKIN ELMER M641HT還支持其他工藝步驟，如叠加、CD公差測量、深度調整等。這允許您將該單元用於一系列應用,包括光刻、沈積、幹蝕刻等。M641HT是一種能夠提供高精度和高精度的自動化機器,使其成為尋求生產高質量產品的可靠工具的半導體公司的理想選擇。通過其先進的控制能力和激光資產，SVG/PERKIN ELMER/ASML M641HT可以處理大多數成像過程要求。