二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 240 #128860 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 240是一種高精度的掩模對齊器，用於光刻在半導體器件制造中的應用。掩模對準器配備了一系列功能,可確保為制造設備而精確對準光掩模。SVG Micralign 240具有0.2微米的分辨率,確保包含此設備暴露的圖案的設備具有盡可能高的精度。該系統還允許在對齊過程中引入角度楔形，從而能夠準確地創建更復雜的模式。ASML Micralign 240對準器具有兩個可調鏡頭組，其中一個安裝在X臺上進行高精度定位，一個固定鏡頭組在Z軸上。每個鏡頭組都有單獨的對焦和對準控制旋鈕,以便精確對準。一旦達到目標位置，用戶就可以借助真空確保口罩牢固地保持，確保圖樣準確地傳遞到基板上。PERKIN ELMER Micralign 240蒙版對準單元還包括一個光刻階段。此階段具有一系列可調節的照明和曝光功能,可提高將復雜的光掩模圖案精確放置到基板上的速度和準確性。為確保對準盡可能準確,Micralign 240采用了多種先進技術,包括自動對焦、曝光後計量、自動校正和鏡片像差補償。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 240的微米級精度使得能夠制造出比傳統光刻系統更可靠、質量更高的半導體電子元件。SVG Micralign 240的精確對準、過放和低公差特性意味著它可以提供生產精密半導體器件所必需的最高質量保證和過程控制。ASML Micralign 240是一種多用途、先進的機器,能夠產生復雜而精確的模式.其高精度的對齊和一系列高級功能確保了最終產品的最高質量結構和性能。