二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300 #88758 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300是在光刻過程中使用的掩模對齊器。這種專用儀器被用於微電子、醫療和生物技術等行業，作為制造半導體、顯示器、晶片等部件的精確工具。SVG Micralign 300的使用基於外部光刻設備。這臺機器提供了一個先進的步驟和重復過程，將芯片幾何形狀從光掩模轉移到基板。其設計精度為10-20 µm，適合位置要求嚴格的應用。掩模對齊器的功能是允許光通過光掩模,同時選擇要傳輸到基板上的一部分。這是由ASML Micralign 300的電光系統（Electro-Optical system），包含光頭、激光光源和高度精確的步進電機實現的。光頭將圖像投射到精確指定的位置,從而消除了任何未對準的空間。面罩和基板都放置在具有真空效果的X級支架上。機器中的控制允許沿著x軸和y軸精確移動,而z軸坐標運動則在基板上創建浮雕結構的特殊模式。這導致當光刻膠暴露和發展時產生精確的電路結構。還存在一個可見光濾光器單元，以濾除任何無關的光，並確保只使用所需的連續體光譜。此外,還有一個液晶顯示屏,它以卓越的分辨率顯示所有操作的詳細視圖。Micralign 300的安全方面包括真空和化學聯鎖機,確保保持正確的大氣條件以確保安全操作和高精度打印。這一工具進一步得到位於基板定位器附近的安全光電探測器的補充，以限制其達到移動範圍的極端極限。PERKIN ELMER Micralign 300是一種先進的工具，保證任何微電子、醫療、生物技術設施的高效率和生產率。其先進的規格使其非常適合在光刻過程中以高精度執行復雜的任務。