二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 300HT #157468 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 300HT是一種用於半導體工業光刻工藝的高端掩模對齊器。該設備旨在確保集成電路中使用的光掩碼的高分辨率和高精度對準。它配備了最先進的光學和激光技術，以保證光掩模的精確對準。SVG Micralign 300HT利用四束光束進行對齊：兩束水平光束用於X軸運動，兩束垂直光束用於Y軸運動。光束使用激光-二極管雙異質結產生，通常用於數字顯示器和其他高科技應用。這款激光還配備了精確頻率叠代儀，以確保在對準過程中進行精確調整。該系統還具有一個集成的模糊邏輯對齊單元，它同時考慮到了光掩碼的精確位置和相對偏移。本機也被設計為補償任何因未對準而造成的錯誤；這樣可以在晶片上精確放置光掩碼。還使用高功率顯微鏡提供了光掩模覆蓋的實時預覽，確保了最高質量的結果。ASML Micralign 300HT還包括一個熱成像工具,稱為TemperatureSurfing Asset。該模型在對準過程中監視光掩模的精確溫度，保證了最高精度。此外,它還有助於保持熱交聯,從而顯著減少因錯誤而產生的有缺陷的集成電路的數量。整個設備使用綜合軟件管理，允許對對齊過程進行多次調整。這使得微調對齊過程極為容易，確保不會發生錯誤，並實現最佳對齊結果。總體而言,Micralign 300HT是一款高度先進的掩碼對齊器,旨在提供最高精度和精確度。其多重特性使其成為處理集成電路的理想解決方案，確保光掩模與晶片精確、緊密對齊。