二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330 #128861 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330是一款高度先進的掩模對齊器，旨在為半導體行業的用戶提供精確準確的對齊結果。這種雙透鏡光束投影設備由一對激光束組成，這些激光束精確對齊並對準下方晶片上方的掩模。系統使用自動算法來檢測角移，以及任何錯誤，如遮罩板不對準或鏡像位置錯誤。該單元使用一組精確的鏡子和透鏡來增強晶圓表面的掩模圖像。這臺機器實現的對準精度為0.12-0.15微米的分辨率，最大場大小為5.6 x 5.2微米。SVG Micralign 330配備了專有的自動對焦工具,該工具與主動和被動光學技術一起確保了掩蔽的最高精度。該資產利用先進的圖像處理技術，包括特征檢測和像素插值算法，自動調整激光器，以達到盡可能高的精度。此外,此高級模型還提供有關圖像質量和曝光時間的主動反饋,允許用戶進行所需的調整並確保盡可能高的圖像精度。此外，該設備還采用了獨特的視覺盾技術，阻止紫外線和紅外光進入鏡頭，以提供對遮罩材料的最大保護。該系統還采用了原位自動化技術,消除了手動對齊,並大大減少了屏蔽所需的時間。該單元非常適合廣泛的掩蔽和對齊處理，包括投影打印、直接接觸打印以及其他各種精密掩蔽和對齊任務。這種經濟高效的機器設計用於各種掩蔽任務，從生產到研究。總而言之,ASML Micralign 330掩碼對齊器為無與倫比的掩碼和對齊性能提供了盡可能高的精度和精度結果。