二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 330HT #128862 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 330HT是一種最先進的掩模對準設備,旨在方便芯片元件與晶圓上的圖樣進行亞微米對準。該系統具有卓越的速度、精度和吞吐量,非常適合光掩模制造、設備制造、高級光刻等應用。SVG Micralign 330HT單元的主要部件是遮罩框、折射光學器件、鏡頭組件、對準表和二維（2D）交叉引擎。蒙版框架采用雙面或四面擺動模塊化蒙版設計，使得在不同位置使用多個蒙版操作成為可能。折射光學器件可確保在對準過程中清晰、高分辨率地查看目標陣列。鏡頭組件也可調節，以獲得最佳對準焦點。對齊表包括兩輪二維調整，允許精確調整掩模位置，使目標模式與晶片對齊。2D交叉引擎使用一對2D交叉艙口和一對帶有線性編碼器的移動級來測量目標和晶圓之間的距離。掩碼對齊器控制器（MAC）充當操作的大腦,使用戶可以輕松選擇和配置所需的對齊設置。該控制器由顯示蒙版在舞臺上位置的對準窗口和包含集成功能的控制集組成，以確保自動對準，精度高達10微米。此外,MAC還配備了Autofocus功能,可將掩碼的焦點帶到所需的位置,以實現最佳分辨率。ASML Micralign 330HT機常見的操作模式包括單掩碼對齊、自動對齊晶圓、手動對齊晶圓以及所有三種模式的組合。例如,在自動對齊晶圓模式下,優化參數將隨著晶圓的移動而自動調整。單一、自動對齊和手動對齊模式的組合允許用戶使用不同的分辨率和模式。總體而言,Micralign 330HT是一種高度通用的掩碼對齊工具。它能夠準確、快速地處理各種芯片元件，是先進光刻、器件制造、光掩模制造的理想選擇。該資產采用智能口罩對準控制器、可調光學元件、可調鏡頭組件和二維交叉引擎,可顯著縮短設置時間,並仍能提供出色的對準效果。