二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 540 #128869 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 540是一種多軸直接照明掩模對準設備，開發用於晶圓級和芯片級光刻應用。SVG Micralign 540利用數學模型來確定用戶指定的掩碼與晶圓的對齊方式。顯微鏡階段可以在垂直平面上下移動，在水平面左右移動360度。所有這些軸都可以用圖形用戶界面輕松控制，使掩模精確地配準到晶圓上。該對齊器兼具獨特的垂直照明器和大視野成像系統。垂直照明器使用可調節的可見光點來精確檢測晶圓上的對準標記，並有助於確保精確定位到掩模上。成像單元將電動成像物鏡與彩色CCD相機結合在一起，提供對準標記的連續一致檢測和特征的清晰成像，以確保精確對準。ASML Micralign 540利用最先進的雙光柵自動對焦機進行測量精度和可重復性。雙光柵設計使顯微鏡能夠檢測到焦平面的宏觀和微觀尺度偏差，有助於確保在盡可能長的距離內的對準精度。雙光柵工具與強大的自動對焦控制器配合使用，可實現焦點的精確自動校準，進一步提高對準精度。除上述特性外，資產還融合了幾個促進提高精度和可重復性的工程特性，如用於精確曝光控制的機械快門、24位電動線性壓電驅動級以及用於可靠晶圓放置的光學楔形。Micralign 540允許用戶實時監視和記錄所有對齊和聚焦屬性,從而確保可靠和可衡量的性能。此Mask Aligner模型還可以完全集成到流程工作流設備中,從而實現自動化操作並提高流程吞吐量。