二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 550 #128870 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 550蒙版對齊器是SVG製造的最先進的對齊系統。它被設計用於先進的技術應用，如半導體器件制造、光電、微電子等需要精確對準特征的行業。SVG Micralign 550具有工作面積200 mm x 200 mm的X-Y級，視野0.2 mm，X和Y可重復性0.02 mm，以高達2.5 m/s的速度運行，可重復性0.002 in/s。該級裝有真空致動卡盤，用於晶片級處理。該機還配備了可調節扭矩控制的雙向伺服電機和不可見對準的線性編碼器。ASML Micralign 550設計用於多種不同的技術，包括氦離子、電子束、光學和激光光刻。它還支持深紫外線和紫外線處理，以及接觸和接近對準。其中包括一套全面的軟件工具和附件，允許用戶對機器進行全面編程和監控。PERKIN ELMER Micralign 550提供了一個可靠、可重復和準確的平臺,用於調整從最復雜到最簡單的任何模式。它允許生成功能豐富的掩碼和晶片,並具有精確的執行時間和高精度要求。通過優化工作流程,實現了高產量和高吞吐量,同時降低了生產成本。該機還節能，運營成本低，停機時間最少。Micralign 550是面向先進技術應用用戶的理想對齊解決方案。它非常精確、高效、可靠，為用戶提供了生產高質量、細面膜和晶片的絕佳平臺。