二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 600 #9357224 待售

SVG/PERKINELMERSVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 600 Mask Aligner是一種全自動、高性能、對準的設備，用於混合光刻應用。它是一種光刻系統，利用多波長投影單元將光學記錄的圖樣或形狀從光掩模投影到基板上。這允許制造高精度半導體器件。自動對準和快速的陣列性能使機器成為工業電路生產、醫療設備生產和半導體芯片制造等應用的理想選擇。該工具的引擎是雙波長投影對準資產。它提供同時照明位於面罩和基板上的多個參考點。光掩模安裝在6軸對準級上,該級可快速準確地將掩模圖樣與基板對齊。它采用三維第一原理對齊方法，使得在基板上的任何一點都能實現精確對齊。該模型包括精密壓電級驅動器，能夠提供1微米或更高的定位精度。SVG Micralign 600包括高精度的圖樣源、一致的照明，以及先進的激光幹涉儀設備，用於微調圖樣的縮放和分辨率。所有這些功能的結合大大提高了註冊精度,而不是傳統的對齊器。它配備了多種可選的附件和軟件程序，用於模型數據生成、對齊和分析。這些可選的系統組件允許高度精確地實施諸如計量、叠加對齊、缺陷檢查、打印殘留分析等應用。ASML/PERKINELMERASML Micralign 600 Mask Aligner是一個先進而有效的單元，為苛刻的光刻應用提供可靠的準確性。