二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 640 #128871 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 640是一款精密的掩模對準器，配有先進的特性，便於電子束光刻圖樣精確且可重復對準各種基板。這使制造商能夠精確地制造亞微米級的電路元件，具有無與倫比的精度和可重復性。SVG Micralign 640的主要部件是其高分辨率成像設備。該系統結合了先進的光學顯微鏡，同時配備了正常和反光照能力，以及計算機控制的轉向階段。光學顯微鏡提供了一個明亮的場圖像，使用戶能夠精確地可視化基板上的光刻圖案。轉向級針對基板精確對齊調整，高精度控制面罩和基板的相對定位。該單元還配備了先進的光源單元，旨在確保光刻圖案在任何時候都能精確照明。這臺機器包括一個大功率的紫外線光源、一個配電網絡和一組鏡頭和鏡子。鏡片和鏡子被戰略性地放置，以最大限度地實現整個基板上照明的均勻性。ASML Micralign 640還配備了一套精確控制的定位元件。這些元素使用戶能夠精確調整蒙版相對於基板的位置。PERKIN ELMER Micralign 640還配備了先進的控制工具，允許用戶編程和存儲多個光刻面罩布局。這使得它容易快速重新定位面罩相對於基板，允許快速修改，而不會損失任何精度。Micralign 640是一種強大而精確的工具，旨在促進微電路部件的高效生產和對齊。其先進的成像、光源和定位元件使用戶能夠將光刻圖樣精確、重復對齊到各種基板上，確保卓越的效果和質量控制。