二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 650 #128872 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 650是最先進的高級掩碼對齊器,具有精確的特性和功能。它是一種X-Y位移視覺接觸對準器和步進器，用來將照片面罩對準晶圓。利用先進的可編程標記查找算法搜索晶片，精確掃描晶片以查找圖樣並驗證照片掩模的對齊方式。該機器能夠在可見光譜中使用激光二極管以及較低功率、背景光源和具有圖像捕獲功能的高速攝像機執行四個可變聚焦功率光對準。該系統還配備了晶圓輪廓、對準和掩模配準控制的先進軟件。SVG Micralign 650配有一個封閉的工作區，在工藝應用過程中保持清潔無菌。除了提供更好的吞吐量和更短的生產時間外，該機還被設計為對於線性誤差和徑向誤差都提供一微米以下的卓越精度。該系統具有多種掃描模式,可用於優化對齊過程。它提供了從x 2到x 500的廣泛放大級別,使用戶能夠更準確地分析和定位對齊方式,同時保持與標準掩碼格式的兼容性。此外，ASML Micralign 650還有一個板載預對準系統，將每個晶圓對準多個掩模層的過程從幾分鐘降低到幾秒鐘。它還通過閉環功能進一步支持質量控制工作,該功能可在線和實時檢查掩模與晶片的對齊情況。其龐大的工作站大小也消除了錯誤的性能問題，這可能不利於調整的準確性。總之,Micralign 650是需要對其光掩模制造過程進行高精度對齊的用戶的理想選擇。它具有很高的可靠性，其魯棒性還具有工作參數的靈活性和多功能性。