二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #156275 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT是一種掩模對齊器，設計用於半導體制造過程中光掩模與半導體晶圓的快速精確對齊。適用於需要高精度和吞吐量的生產環境。SVG Micralign 651HT是一種晶圓級步進器，具有4英寸的視場，提供高達1 µm像素大小的分辨率。它具有一個蒙版傳輸機制，具有大的145mm蒙版尺寸能力。設備配備了三個光學測量子系統，分別測量圖像對比度、宏觀高度輪廓和顯微鏡聚焦位置。它采用兩軸級系統，可用於自動放置遮罩，提供快速、精確的對準，配準精度為0.7 µm。集成單元控制器具有直觀的圖形用戶界面和易於使用的編程語言。ASML Micralign 651HT旨在處理各種應用,包括光刻、光學驗證和表面檢查。也可用於熱壓花和基材粘結。用戶界面有助於編程、存儲和檢索對齊配方,以實現有效的掩碼對齊。機器的光學元件被裝在一個空氣軸承模塊中，以最大程度地減少磨損和振動，從而使晶圓的對準更加平滑和精確。其高速成像相機提供快速的響應時間和高精度數據。其光學元件還具有聲學幹涉濾波器，在測量小細節時減少背景噪聲。該工具具有大的掩碼容量、可變的模式重復和易於使用的編程語言，可提供高吞吐量。此外，它還可以很容易地與其他系統集成，包括光機顯微鏡和自動光學檢查系統。其高度可重復的對準精度和低噪聲操作使其成為生產環境中的理想解決方案。