二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 651HT #9399549 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 651HT Mask Aligner是一種全自動、計算機控制的設備,專為微電子設備的光刻生產而設計。它能夠對齊各種光刻面膜材料，從薄膜面膜到精密蝕刻的面膜。該設備包括一個掩模對準頭、一個樣品級、一個激光對準系統和一個發光裝置，將激光束投射到樣品上。SVG Micralign 651HT提供高分辨率和高速度的基板對準.其二維、二軸對準單元在X和Y軸上提供4µm的最大分辨率，± 2弧秒傾斜。它利用激光對準指針機、電子束光學工具和可見目標光學器件，對準精度為+/-2微米或更高。此外,651HT還提供高速對齊功能,在基板上制作圖樣所需的時間僅為30秒。Micralign利用虛擬對齊庫,用戶可以快速將底物和掩碼移動到X軸和Y軸的目標位置。這一過程與近場對齊相結合，通過識別位置錯誤並糾正錯誤，減少了錯位的可能性。對齊器能夠容納直徑達200毫米的基板，基板厚度可達6mm。它還能夠容納各種各樣的口罩，從薄膜口罩到更復雜的精密蝕刻口罩。此外,651HT還支持軟接觸和硬接觸對齊系統,這意味著掩模可以在基板邊緣對齊,也可以與平面對齊。這項資產是為高通量操作而設計的，其氣動控制的機器人能夠在平行基線之間快速穿梭。為了方便起見，對齊器還與行業標準軟件和數據庫兼容，使得使用集中控制連接多個系統更加容易。綜上所述，ASML微對齊651HT是微電子器件精細結構光刻的絕佳選擇。它提供高分辨率、高速對準,並且與各種掩碼兼容。它的虛擬對齊庫減少了錯位，而其氣動控制的機器人技術提供了一個高效的、高通量的模型。
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