二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293618523 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700是一種高精度、高精度的掩模對齊器,用於光刻精確VLSI晶圓製造。SVG Micralign 700具有最先進的檢流計控制和精確、可重復的對準功能,可實現出色的對準精度。為實現最高的生產效率和靈活性而設計的設備提供了廣泛的功能和能力,以滿足生產和研究應用程序的嚴格要求。這種掩模對齊器被設計成一種精確、可靠、快速的工具,用於在半導體晶圓上創建復雜的模式。該系統的雙軸檢振掃描單元可快速準確地定位多達500個對齊標記。它還可以同時容納多達五個柔性和扁平口罩。ASML Micralign 700以其快速、精確和可重復的註冊,簡化並加速了掩蔽操作。Micralign 700還配備了自動鏡頭機,在從掩模移動到掩模時可以快速、準確地調整光學器件以實現最佳對準。它還具有用於檢查對準和識別亞微米失準的高分辨率成像工具,以及用於測量和校正資產微小差異的高精度激光幹涉儀。該模型具有幾個關鍵特性,使其成為半導體光刻技術的絕佳選擇,包括用於精確對準的高速交叉激光、直觀易用性的直觀用戶界面以及提供最佳精度和可重復性的機械設備。綜上所述,PERKIN ELMER Micralign 700是一款功能強大、精度高、精度高的掩模對準器,旨在滿足半導體晶圓制造的嚴格要求。它具有用於快速配準的雙軸檢振掃描儀、用於對準檢查的高分辨率成像系統和用於測量和校正小對準方差的高精度激光幹涉儀。憑借其先進的特點,它是實現精細對準和電路級精度的絕佳選擇。
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