二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293619654 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700是一種掩模對齊器-一種用於在微電子器件生產過程中精確放置和對齊光刻光柵的機器。SVG Micralign 700是一種通用工具，可以對齊半導體晶片中各種尺寸和特性的掩模，允許精確定位和對準電路模式。該機器包括用於掃描標線和晶片的攝像機設備、雙線性對準系統、用於精確定位和對準晶片的6軸機器人以及用於高精度和可重復性掃描操作的自動對焦單元。6軸機器人允許在X-Y-Z這三個相互垂直的方向上手動布置光刻標線。ASML Micralign 700有兩個掃描頭，一個用於最大10英寸（25厘米）的較大標線，一個用於最大4英寸（10厘米）的較小口罩。照相機利用藍激光二極管（BLD）成像技術精確掃描標線和晶片，提供精湛的SNR（>300）和高轉速的舞臺，高達每秒3圈。自動對焦工具基於多重曝光算法（MEA）,利用Z軸掃描資產快速準確地測量殘余圖像失真。這樣就可以精確地放置和對齊晶片相對於晶片的標線，其放置可重復性為<5納米。Micralign 700還有一個可選的液壓卡盤模型（HCS）,其設計目的是在對準操作期間將晶片固定到位,從而提供一定的穩定性級別,這對於相對於晶片精確對準掩模至關重要。HCS提供了一個可調、無刀具的解決方案,用於將晶片固定到位,而無需額外的工具。PERKIN ELMER Micralign 700是一種堅固且用途廣泛的工具,它允許晶圓上的標線精確且可重復對齊。機器的高精度BLD攝像機設備和MEA自動對焦系統確保了掃描操作的高精度,而可選的HCS確保晶片在對準操作過程中保持固定和安全。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700具有<5納米的放置重復性,是制造精密微電子元件的不可或缺的工具。