二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #293827389 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700是一種用於生產微電子電路的自動掩模對準器。SVG Micralign 700采用高精度光刻技術,設計用於精確對齊光掩模並將其暴露在基板上,以便精確放置用於制造集成電路、MEMS和其他微電子設備的微小組件。ASML Micralign 700提供對一系列光刻參數的精確控制，包括X、Y、Z級、OHT對準設備、光學系統、自動對焦、鏡盒機械對準、高分辨率亞微米分辨率；包括先進的圖像分析技術,以提高顯微光刻技術的速度、準確性和成本效益。PERKIN ELMER Micralign 700包括三個主要組件：一個階段、一個控制器和一個軟件包,包括測量工具和數據分析工具。該級是基板定位平臺，由超高精度x-y-4軸定位單元、用於OHT對準的精細傾斜級和用於亞微米分辨率的垂直掃描組件組成。控制器是一臺高度敏感的基於PC的計算機,它允許用戶指定的可自定義設置來控制曝光設置、對齊過程和成像參數。軟件是一套圖像處理和分析工具,用戶可以利用這些工具來調整對齊參數、控制曝光設置和成像參數。這些工具還可以用來分析數據，包括線緣粗糙度、芯片密度和吞吐量。Micralign 700提高了曝光模式的精度,可達到小於5nm,吞吐量速度高達每小時50個晶圓。它還能夠與線緣粗糙度（LER）和波位錯等程序進行對齊,從而實現臨界維度（CD）均勻性和提高產量。此外，該級還可以支持晶圓傾斜，提供更好的工藝均勻性和改進的臨界尺寸控制。SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700蒙版對齊器是許多需要高精度光刻技術的行業，如微電子、汽車、生物醫學和消費電子等光刻的理想選擇。SVG Micralign 700使組織能夠實現卓越的性能、速度、準確性和成本效益。
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