二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 700 #9232857 待售

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ID: 9232857
晶圓大小: 4"
Projection mask alignment system, 4" Autoload system Wafer type: Semi flat Cassette to cassette Includes optical alignment spacers Auto fine alignment (AFA).
SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 700 from SVG是一種掩模對齊器,為所有半導體和相關光刻工藝提供功率和精度。這種高精度儀器設計用於對準和檢查掩模圖樣,使其成為半導體制造的完美工具。SVG Micralign 700是一種先進的全自動掃描光學成像設備,能夠在納米級範圍內以高精度對準兩個或多個掩模。該掃描系統可同時獲取、對準和檢查掩模圖樣。它還具有兩種不同的操作模式:1曝光和2曝光。這個綜合單元還包括一個高精度蒙版對齊器(HPMA),允許用戶在主曝光過程前輕松對齊多個蒙版。ASML Micralign 700確保高吞吐量和準確性,以滿足任何需求。它具有高達4 x 5英寸的非常大的視野,可顯著減少掩碼復制時間。此外,高精度的莫爾條紋機具有低鋸齒噪聲,保證了源圖像和目標圖像之間快速、精確和穩定的對準。該系統還與增強激光對準系統競爭,在整個視場上具有很高的精度,以及15 µm的間距對準精度。PVC-1000T校準器確保連續檢查設備的所有參數,並確保所有組件完全對齊。集成的高分辨率CCD攝像頭工具還允許非接觸式掩模檢查。此外,內置的受控環境資產將所有基本參數保持在最優值。PERKIN ELMER Micralign 700已針對安全和用戶友好的操作進行了優化。其集成、易於閱讀的圖形用戶界面確保了操作員與模型之間的輕松通信。此外,一系列安全系統,如自動關閉、內置黑暗監視器、X射線探測器和火花或等離子體發生器檢測設備,同時工作,以保護用戶和設備免受任何損壞。Micralign 700確保了最高質量的協議性能和準確性,使其成為任何半導體生產的完美工具。它為半導體行業中高精度的掩模對準和檢查需求提供了一個有效、創新的解決方案。
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