二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign #9073862 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign是微電子的掩碼對齊器。它是一種精密對準設備，用於在集成電路和其他類型半導體元件的制造過程中精確放置和對準半導體光刻掩模。它是晶圓制造工藝的核心，因為它是光刻工藝的支柱。SVG Micralign由一個桌子、舞臺、光學系統和兩個或更多相機組成。它允許最多五個獨立掩模層的定位和對齊。CCD攝像機用於檢測各個掩模層的成像點,並采用各種方法（如基準標記）進一步提高對準精度。該單元還包括一個可編程的電機驅動級,用於自動對準掩模層。ASML Micralign配備了先進的光學工具，如顯微鏡物鏡、遠心透鏡和偏振分光器，用於精確對準。偏振分束器可同時檢測具有不同材料或層的兩個掩模。顯微鏡物鏡用於放大圖像，遠心透鏡確保整個設備的視場均勻聚焦。Micralign提供了多種對齊模式和非接觸對齊功能,包括自動模式識別,它利用CCD圖像在對齊點上快速準確地實現零輸入。通過快速準確地對齊掩模層,PERKIN ELMER Micralign有助於確保關鍵配準參數的可重復性和準確性。此外,SVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign還提供了流程和生產效率方面的優勢,包括一臺實時的Intelli-Align機器,可實現快速的掩碼對準,以及用於精確對準的光學反饋。該設備還提供各種定位、成像和對準功能,以提高工藝效率。SVG Micralign是微電子制造過程中必不可少的掩模對準器.它提供了多種對齊工具和功能,可實現準確且可重復的掩模層對齊。它的主要功能,包括高級成像工具、實時Intelli-Align工具,以及過程和生產效率方面的好處,使其成為可靠而寶貴的對齊工具。