二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9187411 待售

SVG/PerkinElmerSVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL是一種用於半導體工業光刻的掩模對齊器。此設備用於在掩模（光掩模或標線）上放置圖樣,並將其精確傳輸到諸如矽或玻璃之類的基板上。SVGL能夠創建多級陣列的超精確對齊,從而在最終的芯片設計中實現高分辨率。SVGL還配備了先進的光學設備,可同時聚焦晶圓和標線表面,以實現最佳成像分辨率。SVGL使用激光轉向器在整個光刻過程中進行引導，允許對每個傳輸步驟進行精確控制。掃描直線電動機可實現舞臺的高精度運動。對準信號基於邊緣測量,從而生成位置數據。該設備還可以在保持高精度的同時補償單個組件的變化。SVGL的車載成像系統使用雙攝像頭進行模式切換和基板移位測量等自動信息。SVGL的控制單元可以用控制器的專用軟件包進行編程。這種控制機器允許自定義基板和標線位置、光學設置、激光轉向控制以及過程所需的用戶定義設置等參數。這就是SVGL經常在生產線中使用的原因。SVGL還得益於預測性和預防性維護功能。這種設備每天可用於3500多個晶圓位置，最多可切割30%的芯片缺陷。它還提供了易於使用的圖形界面和高精度。最後，ASML/PerkinElmerSVG PE SVGL是一種用於半導體光刻的掩模對齊器。它具有用於精確對準的激光轉向器和用於精確定位的掃描線性電動機。此外,SVGL還提供高級成像工具、編程控制資產、預測和預防性維護功能以及直觀的用戶界面。由於SVGL的精確度很高,因此對於那些希望在其芯片設計中取得高分辨率結果的用戶來說,SVGL是一個極好的選擇。