二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML PE SVGL #9191660 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML PE SVGL是一種多功能掩模對齊器，廣泛用於在矽芯片上制造和陣列電路。它能夠執行廣泛的功能，從精確的掩模配準和對準到精確的模模圖案。該系統配備了兩個計算機控制的階段，能夠進行精確的光刻應用，如曝光、塗層、圖案和去堆疊。這些階段采用智能算法，允許在各個方向自動移動9納米，確保高精度和可重復性。內部掃描顯微鏡設計用於觀察圖樣、檢查缺陷和剖面線角。它有助於防止導致錯誤的錯位,並使操作員能夠快速準確地調整參數。顯微鏡還包括一個自動對準系統，該系統確保蒙版在蝕刻過程中處於最佳位置。盡管尺寸小巧,但SVG PE SVGL提供了廣泛的高級功能。它包括一個用戶友好的圖形界面，允許用戶快速配置作業。該系統還提供各種掩模模式，包括GDSII、OASIS等，以及曝光設置、卡盤溫度控制和集成熱成像。它可以與大多數光致抗蝕劑材料一起使用，使其適合廣泛的應用。ASML PE SVGL實現的高吞吐量和自動化使其成為大批量生產的絕佳選擇,使操作員能夠快速切換到不同的加工參數並優化產量。它還憑借其出色的性能創造了令人印象深刻的業績,提供了超過行業標準的精確結果。最後,它得到了世界級客戶支持的支持,可在用戶需要時為其提供可靠且知識淵博的幫助。