二手 TAMARACK 162 #9214870 待售
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TAMARACK 162是用於研究和微加工的光刻工藝的自動對齊階段。它是一種全自動、高吞吐量、精確的掩碼對齊器,非常適合單步驟過程和多個掩碼。162由多個主要組件組成,可實現掩碼對準精度和可靠性。主要部件包括單掩模舞臺、精細舞臺、框架選擇舞臺、高精度運動控制設備和日冕儀。單蒙版舞臺最多可支撐10個平面蒙版，而精細舞臺則有1度粒度。框架選擇階段使晶片或基板能夠在掩模臺上精確定位。運動控制系統使樣品和掩模精確對準亞微米精度。日冕儀是TAMARACK 162最鮮明的特徵。它擁有獲得專利的激光單元和先進的成像技術，使用內部校準機定位晶圓基板上的掩模圖樣，以及使用四個攝像機將掩模圖樣投射到基板上的成像過程。162與各類應用高度兼容，包括SU-8、矽、聚酰亞胺和石英。它還提供了一整套計量和過程控制，包括精確的定位測量、高速圖像處理，以及監測過程和根據需要進行修改的能力。由於其高精度的運動控制工具和日冕儀，它具有很高的精度和可重復性。它還降低了成本,因為它是一個單步過程,並且可以高效地處理多個掩碼。TAMARACK 162是研究或工業規模微加工工藝設備的理想選擇。它有助於更快、更精確的流程,同時增強對結果的質量控制。
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