二手 TAMARACK 162 #9270120 待售

TAMARACK 162是一種用於晶圓鍵合和微電子應用的掩模對準器。它提供了將各種基板從小芯片到大芯片精確對齊的能力。該設備采用安裝在花崗巖基座上的精密步進電動機驅動x和y軸級。它的專有模式識別算法，由其高分辨率攝像機驅動，快速分析基板模式，以識別和對齊所需的特征。各種對齊過程可以實現精確度和速度，具有卓越的靈活性和可重復性。系統工作面積500 mm x 400mm，基板面積266mm x 200mm。單位的精確x軸分辨率為0.5 μ m, y軸分辨率為1.0 μ m。該級采用陶瓷元件和氣流冷卻技術，旨在最大程度地減少熱漂移。此外,機器還具有減法插入功能,以消除盲對齊嘗試。162還包括先進的基準識別工具和可選的紅外加熱,以實現更大的對齊控制。基準識別功能使資產能夠識別和對齊諸如焊料碰撞和電鍍穿孔等特征。可選的紅外加熱在晶片上提供了一致的熱狀態，從而提高了扭曲基板的對準精度。該模型還具有一個用戶友好的界面，包括用於晶圓制備、模式識別和運動定義的工具。操作員支持工具選擇、形狀創建、重復功能等功能，優化生產力和效率。設置所有參數後,可以通過系統軟件界面啟動和監視對齊過程。TAMARACK 162用於從正常的光學掩模製作到翻轉晶片、3D晶片堆叠、封裝上封裝（PoP）等先進技術的各種應用。它旨在滿足要求最苛刻的應用程序的生產需求。162提供了卓越的可重復性、準確性、穩定性和靈活性來處理所有應用程序需求。它是高容量和復雜應用的終極掩碼對齊解決方案。