二手 TAMARACK 162 #9397213 待售

TAMARACK 162是一種先進的掩模對準器，用於生產高分辨率光刻圖樣，用於非常高精度的集成電路的制造。162是利用移動激光點采用連續接觸曝光過程的掩模對準器。這種面罩對準器比傳統的接觸曝光系統要精確得多，允許2微米或以下的曝光分辨率。TAMARACK 162設計用於提供高分辨率圖樣,曝光分辨率為0.5 μ m或更小。這種精確度是通過一種致動的x-y定位系統實現的，該系統能夠精確對準分辨率低至0.1 μ m的組件，同時利用掃描激光聚焦來保持高分辨率成像。162還利用了一個靈活的模式階段，允許在單個基板上有不同的模式大小和深度。TAMARACK 162是一種用戶友好的掩模對齊器，可以快速、準確地產生復雜的光刻圖樣。它具有直觀的圖形用戶界面，帶有觸摸屏控件和用於精確定位的嵌入式運動控制系統。162還有內部自動曝光監控和優化，晶圓/基板處理的自動加載系統，裝卸口罩的自管機械臂。TAMARACK 162除了具有高分辨率成像功能和用戶友好界面外,還考慮了成本效益。它具有過程自動化和集成生產率監控功能,以最大限度地提高吞吐量,其靈活的軟件可用於一系列常見的設備制造要求,包括自旋電子學、MEMS、微流體和光子學等復雜的技術應用。總體而言,162是要求高精度光刻陣列的技術要求苛刻的工藝和應用的理想選擇。它的高分辨率級、機器人技術和自動化功能允許快速、精確的光掩模裝配和對準,使其成為高精度晶圓制造的理想解決方案。