二手 TAMARACK 191 #9181537 待售
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TAMARACK 191是一個面罩對齊器，設計用於與標線。它是一個功能強大的雙步進定位器，最小步長0.5 m，最小覆蓋0.25 m。191的主要功能是實現精確的光學光刻。它利用先進的傳感器力學將數據從對齊的標線精確傳輸到晶圓級，以便在晶圓上制造元件。一系列光學傳感器與圖樣配合工作，以確保曝光前精確對準。這包括紅外激光、幹涉測量和數字成像技術的組合，以檢測對準的準確性，並向掩模對準器提供對準校正反饋。用戶可以控制諸如標線大小、對齊精度、傾斜和傾斜以及曝光設置等參數。這樣就可以將標線與精細調整的工藝要求精確匹配。系統還包括一個25位自動索引器，這是一個機械臂，具有一系列兩步位置的能力，可以在兩個標線之間自動交換。它為對齊過程提供了高速、可重復性和準確性。此外，TAMARACK 191還配備了Autofocus系統，利用多圖像處理算法精確檢測最小特征。它能夠聚焦於低至0.5 m的圖樣特征。191還可以與Si、GaAs、LiNbO3、GaN和GaP等多種不同的基板一起使用，並且可以處理高達300 °C的溫度。TAMARACK 191是生產高產、高精度、高吞吐量設備的絕佳選擇。它具有高精度、重復性和自動化能力,是高端生產運行的完美工具。
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