二手 USHIO UX-4240 #9364546 待售

USHIO UX-4240是用於半導體器件制造的最先進的掩模對準器。該設備設計用於高速精確對準光學掩模和晶片。它配備了一個4軸運動舞臺，允許快速、精確的模式對準。該系統還包括用於精確控制的自動對焦和對準攝像頭系統。USHIO UX 4240利用多種光源進行不同的圖樣化技術，包括深紫外線、激光摻雜、電子束和納米印刷品光刻。它具有高度動態的光束掃描單元，能夠控制速度、加速度和方向，允許極其精確的模式。該機器的設計目的是為小型和大型陣列區域提供一致的結果,即使有復雜的設計規則。該機還配備了感應耦合等離子體（ICP）濺射技術，用於在晶圓上創建抗薄膜層。為了提高生產力，UX-4240采用了四室設計，允許同時對準掩模，計量和化學。這樣可以提高吞吐量,降低每晶圓的成本。它還包括一個晶圓夾緊級，用於額外的模式對準精度。該工具還包括用於清除任何現有殘留層的激光抗蝕劑去除資產。UX 4240專為高正常運行時間而設計,並提供全面的遠程訪問和維護功能,以提高可維護性。該模型包括一個數字顯微鏡，便於對準和檢查晶片。這樣可以使設備質量保持一致並提高產量。該設備還具有先進的安全功能和用戶友好的圖形界面，以提高生產力。USHIO UX-4240是一個先進的系統，專門設計，以提供快速和精確的對準光學蒙版和晶片。它具有高速、動態光束掃描能力、同時進行掩模對準和計量、易於維修等特點,是半導體器件制造的理想解決方案。