二手 USHIO UX-4240 #9364547 待售

USHIO UX-4240是用於半導體芯片生產中光刻的頂級面膜對齊器。它是一種高度精確可靠的工具，在芯片制造過程中具有廣泛的應用。該設備利用精密光學和微機械系統將高分辨率圖樣精確地暴露在感光表面上。USHIO UX 4240主要用於矽片、液晶顯示器、光掩模等基板上的集成電路圖案化。它具有廣泛的用戶友好功能，包括易於閱讀的數字顯示器、操縱桿控制系統和可選的晶圓加熱站。其主要優點包括高達0.2 µm的高對準精度、深紫外線光源以及用於掩模檢查的紅外激光。該單元利用三軸定位級精確掃描和暴露介質表面。舞臺在閉環、自動聚焦模式下運作，以確保口罩被精確定位和曝光。機器由板載控制器控制，它使用戶可以訪問各種參數和設置。該工具采用五棱鏡照明器，利用超高壓汞弧提供清潔穩定的光源。該資產還能夠沈積薄膜和其他具有實質性均勻性的材料。此外,它還有助於確保高可重復精度,同時解決當多個相機和鏡頭爭奪同一光源時可能出現的陰影效果。在安全特性方面，該車型設計有各種安全特性，如百葉窗，防止雜光進入腔室，以保護材料和操作員免受傷害。此外，設備還配備了一個系統，用於控制室內的壓力水平，以防止損壞設備。