二手 USHIO UX-4240 #9402607 待售

USHIO UX-4240是一款全自動的蒙版對齊器，旨在為光學光刻提供高精度的蒙版和基板對準。該設備配有高精度直線導軌、雙電動鉛絲機構、激光幹涉儀，以及多攝像頭對準系統，以確保準確、一致的基板與掩模對準。USHIO UX 4240 Mask Aligner利用內置的自動化和計算機界面,使操作易於重復。電動鉛螺桿機構可實現快速、精確的運動控制，而線性導軌保持最高精度。這使設備能夠快速準確地重復定位基板和掩模,而不會在整個對準過程中失去準確性。激光幹涉儀用於測量基板運動過程中UX-4240偏轉，確保不發生位移或錯位。結果是所有現有掩模對齊器中定位精度最高的。除了定位精度外，UX 4240還采用了多相機對準機。此工具具有模式匹配功能,可確保多個點的精度。它還具有一個直觀的用戶界面，簡化了設置和操作，使復雜的掩碼更容易對齊。包含在資產中的高分辨率液晶顯示器也有助於對齊掩碼。USHIO UX-4240 Mask Aligner還設計用於多個基板和口罩的快速順序對齊。這樣可以在不影響精度的情況下實現更大的批量。該模型能夠在幾秒鐘內在基板和口罩之間切換,從而在生產過程中實現快速周轉。USHIO UX 4240 Mask Aligner易於維護和操作,是光刻生產工藝的理想選擇。這種經濟高效的解決方案提供了卓越的定位精度、快速簡便的設置和改進的吞吐量,使其成為光刻生產過程中的理想解決方案。