二手 USHIO UX-4240 #9402608 待售

USHIO UX-4240是為生產先進集成電路（IC）、MEMS和傳感器設備而設計的高精度、計算機控制的掩模對準器。它具有超高精度、高速對準和高吞吐量的特點,可用於密集圖案化的光掩模。獨特的LW-PRISM視覺對準設備提供了光掩模與工件的快速、可重復和精確對準。這樣可以精確繪制細線寬度和一些最先進的平版印刷應用。USHIO UX 4240提供先進的低相幹象限照明和可選的電動鏡頭移動，實現精確對準，分辨率降至0.3微米。高性能的三眼系統可以精確地查看蒙版及對其進行的任何更改。對於精確的叠加和圖樣分辨率，UX-4240采用接觸圖像傳感器（CIS）、激光圖像傳感器（LIS）和ImagePC圖像傳感系統，一起使用，以提供面罩與工件的精確對準。該單元還提供了許多對齊和成像選項,以滿足最苛刻的叠加要求。UX 4240還提供了一個自動索引機，方便操作。它具有工件位移控制和光學元件陣列功能，可以最好地控制散射光和光束路徑。此外，該工具還配備了手動晶片安裝架和3軸直線電動架，以實現出色的對準和亞微米精度。所有這些功能的設計都是為了最大限度地提高生產效率、產量和生產一系列高級設計的多功能性。USHIO UX-4240還具有靈活的prober升級選項,以滿足要求最苛刻的prober要求,從而確保最高的工藝質量。USHIO UX 4240是一款可靠且經濟實惠的解決方案,可滿足最高級別的生產要求。