二手 USHIO UX-4440 #293587280 待售

USHIO UX-4440
ID: 293587280
Aligner.
USHIO UX-4440面罩對準器是一種精密可靠的光刻機,專為制造納米級電路和器件而設計。它是研究人員和工程師用來創建集成電路、膜以及光電材料和器件的工具。在其核心,USHIO UX 4440包含4級步進電機和256 x 256像素圖樣對準設備。這個系統以平均20-30 mm/s的速度在三維空間中快速移動晶圓級。步進電機由一個控制器控制,該控制器具有用戶可編程的微調過程參數設置,以便針對不同的條件和基板進行優化。掩模對準器采用先進的浸入式光刻裝置,其分辨率可低至0.8微米。這樣可以確保晶片上圖案的精確放置和對齊。UX-4440還具有一個內置的機動化機器,用於裝載,對準和暴露面罩。這允許可重復和可靠的掩碼定位,而可編程的場間協議處理不均勻的圖像並減少曝光變化。UX 4440還有一個4軸振動前臺,用於進一步提高精度,實現納米可重復性。此功能還消除了蒙版滑動問題,並提高了位置重復性。此外,該工具還包括一個200 Hz的加熱電路,可以對其進行微調和調整,以處理蠕變和失真等問題。為了安全和方便起見,USHIO UX-4440采用了內部防腐蝕不銹鋼腔室、自動安全關閉裝置和可調節壓力區域的氮氣凈化裝置,以實現最佳的掩模保護。此外,模型的所有組成部分都經過認證,並超過了歐盟職業健康和安全標準。最後,易於使用的控制界面允許對所有參數和操作條件進行直觀、快速和高效的設置。這一點,加上USHIO UX 4440的非凡能力,使得它成為一系列納米加工和微加工任務的絕佳選擇。
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